公开(公告)号：CN111094617B

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN201880058177.3

申请日：2018-07-27

Applicant: 岩谷产业株式会社

Inventor： 泉浩一 ,  古谷政博 ,  山本刚

IPC: C23C8/14

Abstract: 本发明提供一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器(30)及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。

公开(公告)号：CN111094617A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201880058177.3

申请日：2018-07-27

Applicant: 岩谷产业株式会社

Inventor： 泉浩一 ,  古谷政博 ,  山本刚

IPC: C23C8/14

Abstract: 本发明提供一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器(30)及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。