一种溢出式成膜基板通柱填充方法

    公开(公告)号:CN104916547A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510220396.5

    申请日:2015-05-04

    CPC classification number: H01L21/486

    Abstract: 本发明公开了一种溢出式成膜基板通柱填充方法,通过在正面使用开口的不锈钢板网板,背面铺设不锈钢丝网做衬底的方式,实现了两面溢出式的通柱填充,由于溢出的浆料填补了通柱在烧结过程中的收缩损耗,因此该方法制作的通柱表面平齐、结构致密,可靠性优于其他通柱;利用基板下方的不锈钢丝网作衬底来收集通柱溢出的浆料,既保证了通柱填充的完整性和致密性,又避免了溢出浆料在基板表面产生大面积的沾污;本发明方法与注射法和真空抽取法相比,工艺窗口宽、操作简便,成本低廉、可靠性高。

    一种溢出式成膜基板通柱填充方法

    公开(公告)号:CN104916547B

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201510220396.5

    申请日:2015-05-04

    Abstract: 本发明公开了一种溢出式成膜基板通柱填充方法,通过在正面使用开口的不锈钢板网板,背面铺设不锈钢丝网做衬底的方式,实现了两面溢出式的通柱填充,由于溢出的浆料填补了通柱在烧结过程中的收缩损耗,因此该方法制作的通柱表面平齐、结构致密,可靠性优于其他通柱;利用基板下方的不锈钢丝网作衬底来收集通柱溢出的浆料,既保证了通柱填充的完整性和致密性,又避免了溢出浆料在基板表面产生大面积的沾污;本发明方法与注射法和真空抽取法相比,工艺窗口宽、操作简便,成本低廉、可靠性高。

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