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公开(公告)号：CN110421532A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910753731.6
申请日：2019-08-15
Applicant: 山东大学深圳研究院
Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷驱动的微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，基座上设置有十字开槽，开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，微动平台是具有四个导向杆的十字形结构，微动平台安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台的导向杆通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接。本伺服平台具有结构紧凑、位移放大倍数高、无摩擦磨损、无需润滑、基座材料利用率高、响应快的优点。
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公开(公告)号：CN110415761B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910754338.9
申请日：2019-08-15
Applicant: 山东大学深圳研究院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供一种紧凑型二维微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，所述基座上设置有十字开槽，所述开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，所述微动平台呈正方形安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；所述主导向机构、副导向机构安装在开槽内且设置于微动平台相对的两侧，主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台端面通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接。本伺服平台具有结构紧凑、位移放大倍数高、无摩擦磨损、无需润滑、基座材料利用率高的优点。
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公开(公告)号：CN110415761A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910754338.9
申请日：2019-08-15
Applicant: 山东大学深圳研究院
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供一种紧凑型二维微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，所述基座上设置有十字开槽，所述开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，所述微动平台呈正方形安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；所述主导向机构、副导向机构安装在开槽内且设置于微动平台相对的两侧，主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台端面通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接。本伺服平台具有结构紧凑、位移放大倍数高、无摩擦磨损、无需润滑、基座材料利用率高的优点。
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公开(公告)号：CN110421532B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201910753731.6
申请日：2019-08-15
Applicant: 山东大学深圳研究院
Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷驱动的微纳伺服平台，包括基座、位移放大机构，基座上设置有十字开槽，开槽的其中两个相邻的槽口向外延伸形成长槽口，微动平台是具有四个导向杆的十字形结构，微动平台安装在开槽中心处，两个位移放大机构分别安装在长槽口内用于分别实现X轴方向、Y轴方向位移驱动；每个位移放大机构对应设置有主导向机构、副导向机构、位移传感器；主导向机构位于微动平台与位移放大机构之间，主导向机构通过柔性铰链与位移放大机构连接，微动平台的导向杆通过柔性铰链与主导向机构、副导向机构连接。本伺服平台具有结构紧凑、位移放大倍数高、无摩擦磨损、无需润滑、基座材料利用率高、响应快的优点。
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