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公开(公告)号：CN105387242A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510992281.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种压电型薄膜式节流阀，包括自上而下依次安装的上阀体、薄膜、下阀体和固定板，所述上阀体由内向外依次设有互相连通的第一内环腔和第一外环腔，所述下阀体由内向外依次设有相互连通的第二内环腔和第二外环腔，所述第一内环腔和第二内环腔中心分别设有第一顶杆和第二顶杆，所述第一顶杆的下端与薄膜顶面接触，上端与驱动器接触，所述第二顶杆上端与薄膜底面接触，下端由碟形弹簧支撑。与现有的薄膜式节流阀单面设置顶杆的压电式薄膜节流阀相比，薄膜双面设置顶杆能够实现对流体介质的压力差动调节。
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公开(公告)号：CN105370958A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510979084.2
申请日：2015-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷驱动薄膜式伺服阀，包括上阀体和下阀体，上阀体与下阀体之间设有薄膜，上阀体与薄膜之间形成圆柱形的平衡油腔，薄膜与下阀体之间形成一个环形的节流油腔，平衡油腔与节流油腔连通，上阀体与平衡油腔之间竖直贯通有顶杆，顶杆的一端与薄膜间隔设定距离或接触，另一端设有用于推动顶杆移动的压电陶瓷；本发明的有益效果是：过精确控制节流间隙，实现压力和流量的精确主动控制，通过将薄膜的中心设为中央岛型，中央岛型呈刚性，四周变形区呈柔性，提高了薄膜的动态频率，同时提高了节流间隙的控制精度，整个装置结构简单、功能可靠、制造成本低。
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公开(公告)号：CN105387242B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201510992281.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种压电型薄膜式节流阀，包括自上而下依次安装的上阀体、薄膜、下阀体和固定板，所述上阀体由内向外依次设有互相连通的第一内环腔和第一外环腔，所述下阀体由内向外依次设有相互连通的第二内环腔和第二外环腔，所述第一内环腔和第二内环腔中心分别设有第一顶杆和第二顶杆，所述第一顶杆的下端与薄膜顶面接触，上端与驱动器接触，所述第二顶杆上端与薄膜底面接触，下端由碟形弹簧支撑。与现有的薄膜式节流阀单面设置顶杆的压电式薄膜节流阀相比，薄膜双面设置顶杆能够实现对流体介质的压力差动调节。
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公开(公告)号：CN105370958B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201510979084.2
申请日：2015-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷驱动薄膜式伺服阀，包括上阀体和下阀体，上阀体与下阀体之间设有薄膜，上阀体与薄膜之间形成圆柱形的平衡油腔，薄膜与下阀体之间形成一个环形的节流油腔，平衡油腔与节流油腔连通，上阀体与平衡油腔之间竖直贯通有顶杆，顶杆的一端与薄膜间隔设定距离或接触，另一端设有用于推动顶杆移动的压电陶瓷；本发明的有益效果是：过精确控制节流间隙，实现压力和流量的精确主动控制，通过将薄膜的中心设为中央岛型，中央岛型呈刚性，四周变形区呈柔性，提高了薄膜的动态频率，同时提高了节流间隙的控制精度，整个装置结构简单、功能可靠、制造成本低。
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公开(公告)号：CN205207844U
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201521087117.4
申请日：2015-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷驱动薄膜式伺服阀，包括上阀体和下阀体，上阀体与下阀体之间设有薄膜，上阀体与薄膜之间形成圆柱形的平衡油腔，薄膜与下阀体之间形成一个环形的节流油腔，平衡油腔与节流油腔连通，上阀体与平衡油腔之间竖直贯通有顶杆，顶杆的一端与薄膜间隔设定距离或接触，另一端设有用于推动顶杆移动的压电陶瓷；本实用新型的有益效果是：过精确控制节流间隙，实现压力和流量的精确主动控制，通过将薄膜的中心设为中央岛型，中央岛型呈刚性，四周变形区呈柔性，提高了薄膜的动态频率，同时提高了节流间隙的控制精度，整个装置结构简单、功能可靠、制造成本低。
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