公开(公告)号：CN112941510B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202110104903.4

申请日：2021-01-26

Applicant: 山东大学

Inventor： 王侃 ,  许祥宇 ,  何欣璐 ,  刘勇

IPC: C23C26/02

Abstract: 本发明涉及一种电火花沉积制备高熵合金涂层的装置及方法，包括：加工机构：包括密封罩，密封罩内设置有能够放置工件的二轴联动机构，二轴联动机构一侧设有竖向升降机构，竖向升降机构与动力系统连接，动力系统连接有主轴，主轴通过压电促动器连接有工具电极；保护气供给机构：通过管路与密封罩连接，所述管路上安装有调压件，电源组件：其正极用于与工具电极连接，负极用于与工件连接，采用本发明的装置制备的涂层质量好。

公开(公告)号：CN112941510A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202110104903.4

申请日：2021-01-26

Applicant: 山东大学

Inventor： 王侃 ,  许祥宇 ,  何欣璐 ,  刘勇

IPC: C23C26/02

Abstract: 本发明涉及一种电火花沉积制备高熵合金涂层的装置及方法，包括：加工机构：包括密封罩，密封罩内设置有能够放置工件的二轴联动机构，二轴联动机构一侧设有竖向升降机构，竖向升降机构与动力系统连接，动力系统连接有主轴，主轴通过压电促动器连接有工具电极；保护气供给机构：通过管路与密封罩连接，所述管路上安装有调压件，电源组件：其正极用于与工具电极连接，负极用于与工件连接，采用本发明的装置制备的涂层质量好。