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公开(公告)号:CN101090609A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200610163603.9
申请日:2006-11-30
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H05K3/4644 , H05K3/0052 , H05K3/0097 , H05K3/025 , H05K2201/09781 , H05K2203/1536 , Y10T156/1052 , Y10T156/108
Abstract: 一种用于制造电路板的方法,包括以下步骤:将金属箔层可剥离地叠置于支承基板的表面;通过积层法在该金属箔层上形成叠层体,该叠层体包括多个互连图案,所述多个互连图案之间设有绝缘层,所述多个互连图案彼此电连接;将该金属箔层与该支承基板分开,以将该叠层体剥离;以及通过光刻法蚀刻该金属箔层,以形成预定互连图案。
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公开(公告)号:CN101090608A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200610146352.3
申请日:2006-11-10
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H05K3/20 , H05K3/0097 , H05K3/06 , H05K3/423 , H05K3/4682 , H05K2201/0361 , H05K2201/096 , H05K2203/0156 , H05K2203/0384 , H05K2203/1536 , Y10T29/49117 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/49165
Abstract: 一种用于制造电路板的方法,包括以下步骤:通过光蚀刻法将三层金属叠层件的第三金属层蚀刻成预定互连图案;通过积层法在该预定互连图案上形成叠层体,该叠层体包括多个互连图案,所述多个互连图案之间设有绝缘层,所述多个互连图案彼此电连接;将该第一金属层与该支承基板分开以剥离该叠层体;将该第二金属层作为阻隔层,通过蚀刻除去该三层金属叠层件的第一金属层;以及通过蚀刻除去所露出的第二金属层。
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