公开(公告)号：CN107709979B

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201680038272.8

申请日：2016-06-29

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 原田直树 ,  佐藤信太郎 ,  林贤二郎 ,  山口淳一

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明涉及一种气体传感器及其使用方法，该气体传感器包含有：半导体层(101～103)；石墨烯膜(105)，设置于半导体层(101～103)上方且至少一部分与气体接触；以及半导体层(101～103)与石墨烯膜(105)之间的阻挡膜(104)。

公开(公告)号：CN107709979A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038272.8

申请日：2016-06-29

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 原田直树 ,  佐藤信太郎 ,  林贤二郎 ,  山口淳一

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明涉及一种气体传感器及其使用方法，该气体传感器包含有：半导体层(101～103)；石墨烯膜(105)，设置于半导体层(101～103)上方且至少一部分与气体接触；以及半导体层(101～103)与石墨烯膜(105)之间的阻挡膜(104)。