废气回收方法及其装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1320472A

    公开(公告)日:2001-11-07

    申请号:CN01109295.5

    申请日:2001-03-07

    CPC classification number: B01D53/14 B01D8/00 B01D2257/704 Y02A50/235

    Abstract: 本发明要提供能够成本比较低地高效回收在大量废气中的溶剂等挥发性有机化合物并且能够再利用所回收的挥发性有机化合物的废气回收方法及其装置。所述方法最好包括利用洗涤器在水中吸收在来自排放源的废气中的挥发性有机化合物气体的第一步骤、在冷冻浓缩机中冻结浓缩第一步骤所获的含挥发性有机化合物的水并且使含有高浓度挥发性有机化合物的水与冰分离的第二步骤、在热交换器中利用该步骤所获的冰来制冷的第三步骤、再利用含有高浓度挥发性有机化合物的水的第四步骤。第四步骤最好是在蒸馏器中分离出挥发性有机化合物和水的工序。最好还包括把在第四步骤中分离出来的水供给第一步骤的第五步骤。

    涂布装置及涂布方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1373012A

    公开(公告)日:2002-10-09

    申请号:CN01144855.5

    申请日:2001-12-26

    CPC classification number: B05C3/18 B05C5/0254 B05C5/027 B05C11/025

    Abstract: 能稳定进行涂布的涂布装置及涂布方法,即使在基片高速运行时也不会产生类似非连续涂布膜的缺陷。该涂布装置包括:条杆、供液通路、防止空气侵入结构;条杆与基片接触,并可绕轴旋转;供液通路配置在条杆上游临近条杆处,在基片与条杆间提供要供给基片的涂液,并在基片运行时形成涂液池;防止空气侵入结构配置在涂液池的上游侧,产生沿基片表面的液流,以阻止基片运行中基片表面产生的伴随空气膜侵入涂液池。

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