公开(公告)号：CN107073676A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580051608.X

申请日：2015-09-28

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高桥大介 ,  高田直树 ,  前田宪孝

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24

CPC classification number: B24B37/22 ,  B24B37/24

Abstract: 提供了一种在对具有变化厚度的被研磨物的表面进行研磨时,可提高研磨精度并可抑制研磨不均的研磨垫。研磨垫(1)是将具有研磨面(9)的上层片材(3)及下层片材(5)至少两片片材贴合而构成的，上层片材的厚度为1.0mm～2.0mm，研磨面(9)的肖氏A硬度为20～90，并且对研磨垫(1)整体使用10mm的压头进行测定时的25％压缩硬度为0.15～0.35MPa。

公开(公告)号：CN106163741B

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201580017776.7

申请日：2015-03-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 丝山光纪 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  C08G18/00 ,  C08G18/10 ,  H01L21/304 ,  C08G101/00

Abstract: 本发明提供一种能够对被研磨物赋予高平坦性、且也能够抑制划痕的产生的研磨垫以及其制造方法。研磨垫在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片，所述发泡聚氨酯片以满足以下要件(1)～(3)的方式构成：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为20～80体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。

公开(公告)号：CN106232296B

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201580020884.X

申请日：2015-04-07

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 柏田太志 ,  德重伸 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24

Abstract: 研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨，其特征在于，在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a)，一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部旋转，一边使所述环状凹研磨部与被研磨物的凸状曲面部分相接触，并且构成环状凹研磨部的弹性体的压缩0.1mm时的压缩应力为50gf/cm2～150gf/cm2的范围，且压缩应力的比(压缩0.5mm时的压缩应力/压缩0.1mm时的压缩应力)为5～30的范围。能够高精度地对被研磨物的所述凸状曲面部分进行抛光研磨。

公开(公告)号：CN106232296A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201580020884.X

申请日：2015-04-07

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 柏田太志 ,  德重伸 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24

CPC classification number: B24B37/24

Abstract: 研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨，其特征在于，在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a)，一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部旋转，一边使所述环状凹研磨部与被研磨物的凸状曲面部分相接触，并且构成环状凹研磨部的弹性体的压缩0.1mm时的压缩应力为50gf/cm2～150gf/cm2的范围，且压缩应力的比(压缩0.5mm时的压缩应力/压缩0.1mm时的压缩应力)为5～30的范围。能够高精度地对被研磨物的所述凸状曲面部分进行抛光研磨。

公开(公告)号：CN107073676B

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN201580051608.X

申请日：2015-09-28

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高桥大介 ,  高田直树 ,  前田宪孝

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24

Abstract: 提供了一种在对具有变化厚度的被研磨物的表面进行研磨时,可提高研磨精度并可抑制研磨不均的研磨垫。研磨垫(1)是将具有研磨面(9)的上层片材(3)及下层片材(5)至少两片片材贴合而构成的，上层片材的厚度为1.0mm～2.0mm，研磨面(9)的肖氏A硬度为20～90，并且对研磨垫(1)整体使用10mm的压头进行测定时的25％压缩硬度为0.15～0.35MPa。

公开(公告)号：CN106163741A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017776.7

申请日：2015-03-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 丝山光纪 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  C08G18/00 ,  C08G18/10 ,  H01L21/304 ,  C08G101/00

Abstract: 本发明提供一种能够对被研磨物赋予高平坦性、且也能够抑制划痕的产生的研磨垫以及其制造方法。研磨垫在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片，所述发泡聚氨酯片以满足以下要件(1)～(3)的方式构成：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为20～80体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。