公开(公告)号：CN105579195A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201480048115.6

申请日：2014-09-24

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高木正孝 ,  久米贵宏 ,  田中寿明

IPC: B24B37/30 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 一种保持垫，其为具备聚氨酯树脂片材的保持垫，所述聚氨酯树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，所述聚氨酯树脂片材在40℃时的储能弹性模量E’为0.3～2.0MPa，并且所述聚氨酯树脂片材的吸水量为95～200mg/50.3cm2。

公开(公告)号：CN105579195B

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201480048115.6

申请日：2014-09-24

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高木正孝 ,  久米贵宏 ,  田中寿明

IPC: B24B37/30 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 一种保持垫，其为具备聚氨酯树脂片材的保持垫，所述聚氨酯树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，所述聚氨酯树脂片材在40℃时的储能弹性模量E’为0.3～2.0MPa，并且所述聚氨酯树脂片材的吸水量为95～200mg/50.3cm2。