公开(公告)号：CN109195745B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201780033152.3

申请日：2017-05-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  柏田太志 ,  山田龙也 ,  楢田洋祐 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其包含以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物的树脂，具有沿所述针织物的面方向切剖而形成的剖面作为研磨面。

公开(公告)号：CN109195745A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780033152.3

申请日：2017-05-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  柏田太志 ,  山田龙也 ,  楢田洋祐 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其包含以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物的树脂，具有沿所述针织物的面方向切剖而形成的剖面作为研磨面。