半导体装置以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN119743962A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411182035.1

    申请日:2024-08-27

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置以及半导体装置的制造方法,其通过形成低电阻的欧姆电极,而能够在维持低的Vf特性的同时提高浪涌电流耐量,并且能够减少泄漏电流。半导体装置具备有源区、第一导电型区、以及终端区。在有源区具有第一个第二导电型区、硅化物膜、以及第一电极,在终端区具有第二个第二导电型区。有源区由第一电极与硅化物膜接触的欧姆区、以及第一电极与第一导电型区接触的肖特基区构成。在第一导电型区的杂质浓度为低浓度的情况下,在芯片中央部设置比芯片外周部多的欧姆区,在第一导电型区的杂质浓度为高浓度的情况下,在芯片外周部设置比芯片中央部多的欧姆区。

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