公开(公告)号：CN106323477B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201610510354.X

申请日：2016-06-30

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： A·格特勒 ,  A·克莱泽斯基 ,  R·P·特拉

IPC: G01J5/08

Abstract: 公开了用于在无需移除正成像的样本的情况下在生成中红外(MIR)图像期间获得基准样本的方法和装置。可调谐MIR激光器生成汇聚到在第一方向上移动标本的标本级上的标本上的光束。光学组件包括：扫描组件，其具有聚焦透镜；以及镜，其相对于级在与第一方向不同的第二方向上移动，使得聚焦透镜在聚焦透镜与标本级之间保持固定距离。光检测器测量离开标本上的点的光的强度。控制器从所测量的强度形成图像。基准级定位为使得镜响应于命令在基准级上移动，使得控制器也可以进行基准测量。

公开(公告)号：CN106323477A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610510354.X

申请日：2016-06-30

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： A·格特勒 ,  A·克莱泽斯基 ,  R·P·特拉

IPC: G01J5/08

CPC classification number: G01J3/0297 ,  G01J3/10 ,  G01J3/108 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/42 ,  G01N21/274 ,  G01N21/276 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/4785 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/127 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0803

Abstract: 公开了用于在无需移除正成像的样本的情况下在生成中红外(MIR)图像期间获得基准样本的方法和装置。可调谐MIR激光器生成汇聚到在第一方向上移动标本的标本级上的标本上的光束。光学组件包括：扫描组件，其具有聚焦透镜；以及镜，其相对于级在与第一方向不同的第二方向上移动，使得聚焦透镜在聚焦透镜与标本级之间保持固定距离。光检测器测量离开标本上的点的光的强度。控制器从所测量的强度形成图像。基准级定位为使得镜响应于命令在基准级上移动，使得控制器也可以进行基准测量。