公开(公告)号：CN1702428A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510064563.8

申请日：2005-04-13

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 约翰·J·伯克曼 ,  卢德米拉·M·戈扬斯卡亚 ,  肯尼思·J·韦恩 ,  朱淼

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02F1/01

CPC classification number: G01B9/02057 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/02072 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261 ,  G02B7/006

Abstract: 本发明公开了一种改善周期非线性的差分干涉仪。干涉仪系统包括平面镜干涉仪、旋转镜、具有可以被调节并随后被固定的延迟片的延迟片组件、以及回射器。光束在包括平面镜干涉仪、旋转镜、延迟片组件和回射器的光路中行进。延迟片组件可以包括多个轴承、被安放在轴承上的环、被安装到环上的延迟片、以及将环推压抵靠轴承的柱塞。在确定了在系统中产生很少偏振泄漏的方向之后，延迟片通过粘接剂被固定。