公开(公告)号：CN106970245A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201710350162.1

申请日：2017-05-18

Applicant: 安徽理工大学

Inventor： 薛长国 ,  牛晓燕 ,  张飞 ,  张涛钢 ,  方菲 ,  沙博 ,  胡业林 ,  闵凡飞

IPC: G01Q10/00

Abstract: 本发明公开了一种新型微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：以固定设置的同一只激光器作为M个扫描单元的共用激光光源，激光器固定地呈水平发出激光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；M只平面反射镜固定设置在同一只转动台的不同位置上；同时驱动遮光板与转动台以同速转动，使M只平面镜随遮光板和转动台的转动逐一地处在所述激光束的光路中，并在M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，且一一对应投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，同时驱动遮光板与转动台以同速循环转动，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。本发明搭建简单且易于控制，精度高。