公开(公告)号：CN108333388A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810122905.4

申请日：2018-02-07

Applicant: 安徽理工大学

Inventor： 薛长国 ,  张飞 ,  张涛钢 ,  张涛 ,  李诚 ,  滕艳华 ,  胡业林

IPC: G01Q10/00 ,  G01R23/02 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明涉及一种动态微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：包括激光器、激光器光纤、转台、微悬臂梁阵列、压电陶瓷驱动器、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；所述激光器呈垂直状态安装且与激光器光纤相连，所述激光器光纤垂直正对转台侧面，所述转台的轴线与水平面平行且转台下方安装微悬臂梁阵列，所述微悬臂梁阵列的基底固定在压电陶瓷驱动器上，所述压电陶瓷驱动器与函数信号发生器相连，所述函数信号发生器与计算机相连，所述微悬臂梁阵列的斜上方安装光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡相连，所述数据采集卡与计算机连接；本发明灵活性高，激光点大小相同、可控，且能实现循环扫描。

公开(公告)号：CN108333388B

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201810122905.4

申请日：2018-02-07

Applicant: 安徽理工大学

Inventor： 薛长国 ,  张飞 ,  张涛钢 ,  张涛 ,  李诚 ,  滕艳华 ,  胡业林

IPC: G01Q10/00 ,  G01R23/02 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明涉及一种动态微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：包括激光器、激光器光纤、转台、微悬臂梁阵列、压电陶瓷驱动器、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；所述激光器呈垂直状态安装且与激光器光纤相连，所述激光器光纤垂直正对转台侧面，所述转台的轴线与水平面平行且转台下方安装微悬臂梁阵列，所述微悬臂梁阵列的基底固定在压电陶瓷驱动器上，所述压电陶瓷驱动器与函数信号发生器相连，所述函数信号发生器与计算机相连，所述微悬臂梁阵列的斜上方安装光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡相连，所述数据采集卡与计算机连接；本发明灵活性高，激光点大小相同、可控，且能实现循环扫描。