一种薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118600421A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410672234.4

    申请日:2024-05-28

    Abstract: 本发明涉及功能薄膜制备技术领域,具体涉及一种薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜、制备方法及其应用,该多层复合绝缘薄膜自下而上依次包括金属基体、Cr过渡层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层、原子层沉积Al2O3绝缘层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层。通过Cr过渡层提高了膜基结合强度,采用磁控溅射与原子层沉积(ALD)技术相复合制备了多层Al2O3薄膜,原子层沉积技术制备的Al2O3薄膜生长致密,填充了磁控溅射沉积的Al2O3薄膜中微孔等组织结构缺陷,从而达到绝缘封孔目的,“三明治”结构Al2O3薄膜有效地阻断了传感层与金属基体之间的电子传导,同时采用合适的刻蚀清洗工艺和金属过渡层,各层薄膜间具有良好的结合强度,可应用于金属表面薄膜传感器制备。

    一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法

    公开(公告)号:CN113957380A

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN202111255505.9

    申请日:2021-10-27

    Abstract: 本发明涉及等离子体渗氮技术领域,具体涉及一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法:对试样抛光至镜面并清洗、烘干后装载入炉内,打开真空泵,抽真空至5.0×10‑2Pa;电阻加热开启,炉温升温至渗氮所需温度400~550℃;通入氩气,加电压700‑800V,电离氩气形成辉光等离子体清洗试样表面,去除材料表面的氧化物等杂质,激活材料表面;接着利用柱弧源产生的弧光等离子体中的电子流电离氩气,进行二次激活,柱弧靶电流为100~200A;通入氮气,柱弧靶电流维持在100~200A,气压维持在1~3Pa,工件接负偏压300‑500V,形成的氮离子进行渗氮,渗氮速率远高于辉光等离子体渗氮,渗氮层表面粗糙度低,表面质量高,力学性能和摩擦磨损性能优于传统辉光等离子体渗氮术。

    一种自润滑防粘铝复合涂层、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN112962053A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110139073.9

    申请日:2021-02-01

    Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域,具体涉及一种自润滑防粘铝复合涂层、制备方法及其应用,这种自润滑防粘铝复合涂层,模具基体到表面依次包括离子渗氮层、CrN打底层、CrVN中间层、CrVCN工作层,所述模具基体为热作模具钢,述离子渗氮层的厚度为50~100μm,组织结构主要包含面向立方结构γ‑Fe4N硬质相,CrN打底层的厚度为0.5~1μm,CrVN中间层的厚度为2~3μm,组织结构为粗大柱状晶,CrVCN工作层的厚度为2~5μm,由细小的纳米晶镶嵌在非晶基体中构成纳米复合结构;这种自润滑防粘铝复合涂层的制备方法,提升复合涂层的抗粘铝性能,解决如何实现多元复合涂层的自润滑以及抗粘铝性能的问题。

    一种高温防护用NiCrBSi-ZrB2金属陶瓷粉末、复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112899604A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110062825.6

    申请日:2021-01-18

    Abstract: 本发明公开一种高温防护用NiCrBSi‑ZrB2金属陶瓷粉末、复合涂层及其制备方法,包括金属陶瓷粉末的制备和复合涂层的制备,通过机械球磨、喷雾造粒和真空烧结相结合的方法制备出粒径在15~45μm的适用于热喷涂的金属陶瓷粉末,然后使用氧‑丙烷为燃料的超音速火焰喷涂技术,氧气作为助燃剂,丙烷作为燃料,氮气作为送粉载气,空气作为冷却介质,将金属陶瓷粉末喷涂在钢基体表面,制备形成NiCrBSi‑ZrB2复合涂层;本发明克服了ZrB2陶瓷在烧结过程中难以致密化的问题,提高了粉末结合强度和流动性,并使用超音速火焰喷涂技术制备涂层,其制备方法简单,涂层沉积效率高,设备操作方便,成本低廉,适用于提高锅炉设备表面的抗热腐蚀及抗高温磨损性能,提高锅炉服役寿命。

    一种低应力高耐磨抗冲蚀涂层、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN109666904B

    公开(公告)日:2021-01-19

    申请号:CN201811615661.X

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种低应力高耐磨抗冲蚀涂层、制备方法及应用,低应力高耐磨抗冲蚀涂层包括基体、粘结层、工作层,粘结层为铬层,工作层为Cr/Cr2N/CrN纳米多层结构,粘结层位于基体与工作层之间;粘结层厚度为0.15~2μm,工作层厚度为2~3μm;低应力高耐磨抗冲蚀涂层的制备方法,包括如下步骤:对基体进行研磨抛光,然后用碱性溶液超声清洗后用去离子水冲洗并烘干,再用酸性溶液超声清洗后用去离子水冲洗并烘干;将清洗后的基体放入多弧离子镀膜室内,用辉光放电清洁表面;用多弧离子镀沉积粘结层;用多弧离子镀沉积工作层;该涂层具有很好的韧性、硬度和抗腐蚀性,各界面结合良好,相互匹配,增加了钛合金材料的硬度、耐磨性和抗冲蚀性。

    钼及钼合金电极表面Mo5Si3-MoSi2-SiO2高温防护复合涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN108118340B

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201711395404.5

    申请日:2017-12-21

    Abstract: 本发明公开一种钼及钼合金电极表面Mo5Si3‑MoSi2‑SiO2高温防护复合涂层及制备方法,属于金属表面工程技术领域。本发明将真空活化包渗法与高温氧化工艺相结合,实现了Mo5Si3‑MoSi2‑SiO2复合涂层的制备。首先,采用真空活化包渗法实现了Mo5Si3‑MoSi2复合涂层制备,表层MoSi2为后续氧化工艺提供Si源,在随后的高温氧化过程中,MoSi2发生氧化,表层形成了一层致密的SiO2涂层,填补了MoSi2涂层的孔隙和裂纹,提高了整个涂层体系的致密性,进而增强了体系的抗高温氧化性能。本发明制备的复合涂层在1600℃下抗氧化寿命达到250小时,1600℃至室温的热震寿命达到1000次,在1600℃条件下抗冲刷寿命为8小时。

    一种高温自润滑钴基耐磨复合层、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN110499505A

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201910822993.3

    申请日:2019-09-02

    Inventor: 蔡飞 张世宏 张林

    Abstract: 本发明公开了一种高温自润滑钴基耐磨复合层、制备方法及应用,其包括如下步骤:分别称取Co、Cr、Fe、B、Si金属粉末,混合均匀得到合金粉,将所述的合金粉与粘结剂混合均匀,得到高温自润滑钴基合金浆料;对球墨铸铁辊基体表面进行打磨,然后依次用丙酮、酒精超声清洗,清洗完成后在基体表面涂覆所述的高温自润滑钴基合金浆料,再进行烘干、保温处理;对涂覆有高温自润滑钴基合金浆料的基体进行预热,然后在氮气保护下进行合金化处理,得到高温自润滑钴基耐磨复合层。制备的高温自润滑钴基耐磨复合层高温条件下耐磨性能强,表面不产生裂纹及气孔缺陷,延长了球墨铸铁热轧辊的使用寿命。

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