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公开(公告)号：CN119414591A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411498890.3
申请日：2024-10-25
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及微机电技术领域，公开了一种基于电磁扫描微镜的电磁驱动系统及方法，该系统包括扫描微镜和永磁体，所述扫描微镜设于永磁体上方，所述扫描微镜包括同轴设置的内框架和外框架，所述内框架的内部同轴设有镜子、底部设有若干圈线圈，所述外框架与内框架之间、内框架与镜子之间均转动连接，所述永磁体包括同轴设置的外环形磁体和内圆柱体磁体，所述外环形磁体和内圆柱体磁体的相邻侧面之间的极性相反设置，以使外环形磁体和内圆柱体磁体之间形成从N极到S极方向的磁场。本发明通过在外环形磁体的基础上添加内圆柱体磁体，减小了磁体之间的距离，进而增加了磁场的强度，提高了扫描微镜的偏转角度。
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