公开(公告)号：CN115763260A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211272258.8

申请日：2022-10-18

Applicant: 安徽大学

Inventor： 何刚 ,  何波 ,  胡庆庆 ,  高倩 ,  姜珊珊

IPC: H01L21/34 ,  H01L29/786 ,  D01F6/56 ,  D01F1/10 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y10/00

Abstract: 本发明公开了一种双沟道堆叠金属氧化物纳米纤维场效应晶体管的制备方法，包括：S1、分别制备铟前驱体溶液和锌前驱体溶液；S2、先通过静电纺丝技术将铟前驱体溶液纺制在基底表面形成铟前驱体纤维层，然后通过静电纺丝技术将锌前驱体溶液纺制在铟前驱体纤维层表面形成锌前驱体纤维层，得到双层前驱体纤维层覆盖基底；S3、将双层前驱体纤维层覆盖基底先进行烘烤，然后UV光处理，冷却至室温后进行退火，得到双层金属氧化物纤维层覆盖基底；S4、通过掩模板在双层金属氧化物纤维层覆盖基底上蒸镀金属源、漏电极。本发明采用两种纤维上下堆叠构成双沟道，可以调节单一氧化物的性能缺陷，利用两氧化物间的互补优势，有效改善器件的性能。