公开(公告)号：CN115903138A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211402560.0

申请日：2022-11-10

Applicant: 安徽大学

Inventor： 于琦 ,  缪琦 ,  李睿沣 ,  胡俊 ,  曹志刚 ,  吕亮 ,  俞本立

IPC: G02B6/255 ,  G02B6/245 ,  G02B6/02

Abstract: 本申请公开一种蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法，涉及光子器件加工领域，包括：将剥去涂覆层的光纤放置到二氧化碳激光熔接机水平对齐的V字型光纤夹具中固定，将光纤向两端外侧施加预应力使其处于抻紧状态；在光纤上确定蝙蝠型SNAP微腔左右耳翼的目标位置，控制V字型光纤夹具下方微型马达移动，将目标位置移动到二氧化碳激光熔接机的曝光位置，将光斑聚焦在目标位置处光纤表面；根据所需蝙蝠型SNAP微腔的轴向长度和耳翼的ERV高度确定二氧化碳激光曝光功率和曝光时间，分别在左右耳翼对应目标位置处曝光。本方案可利用二氧化碳激光熔接机快速精确的制备从微米到毫米量级轴向尺寸的蝙蝠型SNAP微腔，缩减时间和成本投入。