公开(公告)号：CN117448797A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311461053.9

申请日：2023-11-06

Applicant: 安徽大学

Inventor： 芦伟 ,  王飞跃 ,  李文广 ,  汪卫华 ,  储德林 ,  杨锦宏 ,  贺胜男

IPC: C23C18/12 ,  C23C18/04

Abstract: 本发明公开了一种金属氮化物MN(M＝Al或Cr)/氧化物M’2O3(M’＝Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法，属于涂层技术领域。本发明通过金属有机分解方法，先对基体进行表面处理，随后将制备好的金属氮化物MN(M＝Al或Cr)涂层前驱体基体进行浸渍提拉，大气气氛中干燥后，氮气气氛退火烧结成型后，将金属氧化物M’2O3(M’＝Al、Y或Er)涂层前驱体溶液在基体进行同样的浸渍提拉，干燥，退火烧结得到金属氮化物MN/氧化物M'2O3复合抗蚀阻氚涂层。本发明提供的金属氮化物MN/氧化物M’2O3复合抗蚀阻氚涂层，可以兼具较低的氚渗透性能和对液态锂合金的抗腐蚀性，具有成本低、致密性好、厚度可控、膜基结合力强、不易开裂、不受工件大小限制、可在大型复杂形状工件表面进行制备等显著优点。