公开(公告)号：CN115219435A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210827597.1

申请日：2022-07-14

Applicant: 安徽大学

Inventor： 杨锦宏 ,  方慧雯 ,  贺胜男 ,  卫玉娇 ,  张吴记 ,  王立明 ,  黄刚 ,  汪卫华

IPC: G01N21/21 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种宽光谱椭偏测量与仿真模拟相结合的偏振检测方法，该方法包括以下步骤：1、使用宽光谱椭偏仪测量样品得到相应的偏振相位Delta、方位角psi和样品实验测量的穆勒矩阵；2、建模被测样品的偏振散射过程，包括模型结构和样品所处物理外场，仿真得到偏振参数Delta、psi和相应的斯托克斯矢量，再计算后得到仿真实验的穆勒矩阵；3、仿真模拟过程中调节需要测量的物理和几何参数，得到穆勒矩阵并与椭偏测量所得穆勒矩阵比较，使均方误差值(MSE)最小，从而获得要测量样品的结构和物理参数。本发明通过结合宽光谱椭偏仪测量和仿真软件多物理场仿真的特点，可以实现样品结构参数、物理参数、外物理场参数的高精度测量。

公开(公告)号：CN115219435B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202210827597.1

申请日：2022-07-14

Applicant: 安徽大学

Inventor： 杨锦宏 ,  方慧雯 ,  贺胜男 ,  卫玉娇 ,  张吴记 ,  王立明 ,  黄刚 ,  汪卫华

IPC: G01N21/21 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种宽光谱椭偏测量与仿真模拟相结合的偏振检测方法，该方法包括以下步骤：1、使用宽光谱椭偏仪测量样品得到相应的偏振相位Δ、方位角ψ和样品实验测量的穆勒矩阵；2、建模被测样品的偏振散射过程，包括模型结构和样品所处物理外场，仿真得到偏振参数Δ、ψ和相应的斯托克斯矢量，再计算后得到仿真实验的穆勒矩阵；3、仿真模拟过程中调节需要测量的物理和几何参数，得到穆勒矩阵并与椭偏测量所得穆勒矩阵比较，使均方误差值(MSE)最小，从而获得要测量样品的结构和物理参数。本发明通过结合宽光谱椭偏仪测量和仿真软件多物理场仿真的特点，可以实现样品结构参数、物理参数、外物理场参数的高精度测量。