公开(公告)号：CN118996365A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202410908951.2

申请日：2024-07-08

Applicant: 安徽元琛环保科技股份有限公司

Inventor： 徐辉 ,  余飞 ,  许晓龙 ,  徐唐安 ,  梁燕 ,  徐元琛 ,  蒯赟 ,  毛志伟

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射镀层均一性的在线监测方法，包括：放卷段、第一导向轴、第二导向轴、第一磁控溅射单元、第二磁控溅射单元、第一测厚件、第二测厚件、收卷段和控制器；所述控制器与第一磁控溅射单元、第二磁控溅射单元、第一测厚件和第二测厚件通信连接。通过本发明公开的磁控溅射镀层均一性的在线监测方法，引入在线磁控膜厚生产测试以及自动化化调整功率以及气体流量从而优化磁控溅射厚度，提高磁控均一性。

公开(公告)号：CN118996367A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202410908950.8

申请日：2024-07-08

Applicant: 安徽元琛环保科技股份有限公司

Inventor： 徐辉 ,  余飞 ,  许晓龙 ,  徐唐安 ,  梁燕 ,  徐元琛 ,  蒯赟 ,  毛志伟

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  C23C14/20

Abstract: 本发明公开了一种适用于双边夹水电镀的膜材及水电镀装置，膜材包括：基膜，以及在第一侧面上依次形成第一打底层和多层第一金属层后，在基膜的第二侧面上依次形成第二打底层和多层第二金属层，获取水电镀基膜；其中，在水电镀基膜的宽度方向上，具有三个区域，包括第一夹点区、水电镀厚区和第二夹点区；第一夹点区和第二夹点区分别位于水电镀厚区和第二夹点区的两端，且位于夹点区的膜厚大于水电镀厚区的膜厚。通过本发明公开的一种适用于双边夹水电镀的膜材及水电镀装置，能够效解决PP膜水镀作业断膜现象。