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发明授权
一种金属气体元素注入系统的搭建方法有权转让

公开(公告)号：CN105734517B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201610131295.5

申请日：2016-03-08

Applicant: 安德信微波设备有限公司

Inventor： 孙安 , 范义奎 , 张力平

IPC: C23C14/48 , C23C14/14 , C23C14/54

Abstract: 本发明一种金属气体元素注入系统的搭建方法，涉及金属气体元素注入系统领域，其步骤包括：第一、真空系统搭建；第二、真空检漏；第三、抽真空；第四、烘烤；第五、加热；第六、注量分析。通过上述方式，提供一种金属气体元素注入系统的搭建方法元素注入系统，系统搭建简单易行，便于拆卸；并且能够及时监测真空的变化，系统的控制精准，而且易于监测控制。

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