一种蜂窝盒体式曝光机
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118483877A

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410637763.0

    申请日:2024-05-22

    Abstract: 本发明公开一种蜂窝盒体式曝光机,涉及半导体制造技术领域,包括第二平台,所述第二平台的上转动连接有从旋转平台,所述从旋转平台上环形分布有多个用于承载光掩模板的蜂窝盒体,所述从旋转平台的下方具有驱动其旋转的主旋转平台,所述主旋转平台设于升降平台上,并与旋转电机相接,所述升降平台底部具有驱动其上行和下行的升降电机,所述蜂窝盒体包括设于两相对侧的导轨入口和导轨出口,所述蜂窝盒体内设置有电磁对准系统。本发明利用多个蜂窝盒体几何中心不变的特性,通过旋转的方式完成光掩模板的对准,解决了传统机械臂夹带方式的不精准问题,提高了对准精度和准确性,同时大幅减少对准的时间和成本。

    一种携带磁悬浮清洁的洗碗机

    公开(公告)号:CN222693327U

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202421405429.4

    申请日:2024-06-19

    Abstract: 本实用新型属于洗碗机技术领域,特别是涉及一种携带磁悬浮清洁的洗碗机,包括箱体,箱体内设置有抬升组件和清洁机构,抬升组件传动连接有盛放架,清洁机构与盛放架对应设置,箱体相对的两内侧壁均设置有推拉组件,两个推拉组件之间固定连接有托盘,抬升组件设置在托盘的顶面,推拉组件伸出箱体且与柜门传动连接;清洁机构包括冲洗组件和磁悬浮清洁组件,冲洗组件与箱体的内部顶壁可拆卸连接,磁悬浮清洁组件周向设置在箱体的内侧壁,磁悬浮清洁组件位于盛放架的上方,本实用新型在使用时,磁悬浮清洁组件周向设置在箱体的内侧壁,磁悬浮清洁组件沿弧形滑轨运动,均匀喷射洗涤剂,且覆盖范围广,方便餐具清洗。

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