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公开(公告)号：CN107860341A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711063479.3
申请日：2017-11-02
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法，特点是在Z向旋转平台上固定对中试件，对中试件的下表面为水平面、上表面为倾斜面，然后控制Z向旋转平台转动一周，测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh，再控制X向直线平台沿X向移动微小距离Δx'，然后控制Z向旋转平台转动一周，测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh'；将所测得的两次高度差Δh、Δh'代入关系式，得到测头探针的扫描起点与Z向旋转平台的旋转中心之间的X向对中误差Δx和Y向对中误差Δy；优点是对中操作简单，对中速度快，且对中精度和分辨率高。
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公开(公告)号：CN107860341B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201711063479.3
申请日：2017-11-02
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法，特点是在Z向旋转平台上固定对中试件，对中试件的下表面为水平面、上表面为倾斜面，然后控制Z向旋转平台转动一周，测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh，再控制X向直线平台沿X向移动微小距离Δx'，然后控制Z向旋转平台转动一周，测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh'；将所测得的两次高度差Δh、Δh'代入关系式，得到测头探针的扫描起点与Z向旋转平台的旋转中心之间的X向对中误差Δx和Y向对中误差Δy；优点是对中操作简单，对中速度快，且对中精度和分辨率高。
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