公开(公告)号：CN116359228A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310372618.X

申请日：2023-04-10

Applicant: 宁夏大学

Inventor： 丁文捷 ,  马明学 ,  郁凯 ,  曹艺超 ,  洪斌 ,  高继辉 ,  刘恒君 ,  王群 ,  刘鹏

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种单晶硅棒表面瑕疵检测装置及检测系统，属于单晶硅棒瑕疵检测技术领域。单晶硅棒表面瑕疵检测装置包括：方体架体、顶部支架、遮光罩、硅棒夹持机构、升降机构、旋转机构、光源组件、视觉采集组件、视觉控制器、主控制器组成，其中：所述前侧板上开设人工检测口；顶部支架固定安装在方体架体内部的水平台面的U型开口边缘；顶部支架上安装光源组件、视觉采集组件；升降机构安装在前侧板内表面上，硅棒夹持机构安装在升降机构上、用于夹持硅棒，旋转机构安装在硅棒夹持机构上，硅棒、旋转机构、硅棒夹持机构跟随升降机构同步升降；视觉控制器与视觉采集组件相连接，主控制器通过交换机与所述视觉控制器建立连接。