公开(公告)号：CN119691371A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202510195814.3

申请日：2025-02-21

Applicant: 季华实验室

Inventor： 陈宝金 ,  戴科峰 ,  唐卓睿 ,  毛朝斌 ,  彭定强 ,  高桑田

IPC: G06F18/15 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08 ,  G06F18/21 ,  G06F18/2433 ,  G01D21/02 ,  G06F123/02

Abstract: 本申请属于设备数据处理的技术领域，公开了一种碳化硅外延设备检测方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取碳化硅外延设备中多个传感器的历史时间序列数据，对历史时间序列数据进行归一化处理和数据转换，得到预处理后的历史时间序列数据，基于预处理后的历史时间序列数据，通过自适应学习率调整的随机梯度下降算法、早停法和模型检查点机制，构建得到异常检测模型，将多个传感器的预处理后的实时数据输入至异常检测模型，确定对应的实时数据是否存在异常，以对碳化硅外延设备进行检测；通过将多个传感器的预处理后的实时数据输入至异常检测模型，对碳化硅外延设备进行检测，提高了碳化硅外延设备的检测效率。