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公开(公告)号：CN120064342A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510004464.8
申请日：2025-01-02
Applicant: 季华实验室
IPC: G01N23/20008 , G01N23/203
Abstract: 本发明公开了一种铜箔截面样品分析方法，涉及材料检测及分析技术领域，通过等离子束电子束双束电镜PFIB对由金属样品或者非金属样品制成的待测样品的待分析面表面进行粗加工制样作业，使得待分析面的表面光滑度达到预设值，获得达到预设条件的当前样品，继续通过PFIB与大于粗加工制样作业时的电流参数对当前样品进行精加工制样作业，以制备得到满足EBSD表征要求的目标样品，通过PFIB对目标样品进行EBSD表征作业，获得待测样品的分析结果，能够对制样样品进行磨削和抛光。即不会划伤样品，也不会导致样品变形，避免了因划伤样品和样品变形导致的EBSD分析时晶粒边界模糊，确保了样品表面的完整性和真实性，进而保证了分析数据的准确性。
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