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公开(公告)号：CN109479368B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201680087766.5
申请日：2016-07-18
Applicant: 威克特设备公司
Abstract: 本文的方式提供了一种系统，其用于在等离子体装置和相关联的传感器处于休眠或不再接收数据时(例如在等离子体装置断电时)确定是否已经移除或更换了等离子体装置的一个或多个可消耗部件。本文的方式确定存储在控制器的存储器中的某些类型的数据是否仍然有效，其目的例如是为了确定可消耗部件的退化和/或寿命终止。在已经维修或更换了一个或多个可消耗部件的情况下，存储在控制器的存储器中的数据可能不再被认为对可消耗部件有效。在一种方式中，控制器在启动之后确定装置中的开关或保形膜的状态，并且基于开关或保形膜的位置确定可消耗部件是否已被移除或更换。
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公开(公告)号：CN109479368A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087766.5
申请日：2016-07-18
Applicant: 威克特设备公司
Abstract: 本文的方式提供了一种系统，其用于在等离子体装置和相关联的传感器处于休眠或不再接收数据时(例如在等离子体装置断电时)确定是否已经移除或更换了等离子体装置的一个或多个可消耗部件。本文的方式确定存储在控制器的存储器中的某些类型的数据是否仍然有效，其目的例如是为了确定可消耗部件的退化和/或寿命终止。在已经维修或更换了一个或多个可消耗部件的情况下，存储在控制器的存储器中的数据可能不再被认为对可消耗部件有效。在一种方式中，控制器在启动之后确定装置中的开关或保形膜的状态，并且基于开关或保形膜的位置确定可消耗部件是否已被移除或更换。
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