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公开(公告)号：CN100395586C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200480000456.2
申请日：2004-04-28
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明涉及一种缺陷修正装置及其缺陷修正方法。该缺陷修正装置包括：缺陷检测部(41)，通过与参照图像的比较，检测在基板上产生的缺陷；禁止区域设定部(39)，对位于驱动电路元件(23)上或布线(21、22)上的缺陷设定修正的禁止区域(KA)；修正区域设定部(44)，将除了落在禁止区域(KA)上的部分以外的缺陷部分和与禁止区域(KA)无关的缺陷设定为修正区域；优先级设定部(5)，对修正区域设定修正顺序的优先级；以及修正部(31)，根据优先级修正缺陷。
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公开(公告)号：CN100476416C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200480018507.4
申请日：2004-06-28
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66 , G02F1/13
CPC classification number: G01N21/958 , G01N21/956 , G02F1/1309
Abstract: 把玻璃基板的各原图像数据保存在图像保存部(6)内，把在已由检查条件变更部(9)针对这些原图像数据通过手动或自动对各缺陷检测水平或对比度等检查条件进行了设定变更时的各缺陷部(G1～G6)的检测结果显示在显示器(3)的画面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101101266A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710126974.4
申请日：2007-07-02
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 大西孝明
IPC: G01N21/956 , G02F1/13
Abstract: 本发明涉及可以缩短制造工序的交付期的缺陷检查装置及缺陷检查方法。控制部(14)在检查所搬入的基板时，生成识别基板上的缺陷的缺陷信息。在进行了检查后，控制部(14)比较在该检查时生成的缺陷信息、与检查基板的下层时生成的缺陷信息，去除与所述下层的缺陷重复的重复缺陷，生成识别产生于所述最上层上的缺陷的关注缺陷信息。判断部(13)比较从数据运算部输出的最上层(N)的关注缺陷信息，判断基板的搬运目的地，并通知给控制部(14)。
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公开(公告)号：CN1556941A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN02818472.6
申请日：2002-09-20
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G05B19/418 , G06F17/60
CPC classification number: G05B23/0283 , G05B19/41865 , G05B2219/32232 , Y02P90/14 , Y02P90/20
Abstract: 本发明的统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算机上，其功能是与上述用于检测、制造装置的计算机之间对工作条件的各种信息或维修信息进行接收发送并统括管理；监视装置，它连接在该用于管理的计算机上；以及管理部，其功能是利用上述用于管理的计算机，对各用于检测、制造装置的计算机统括更改各检测、制造装置的工作条件；或者，对对维修信息进行监视，当检测出异常时发出催促维修的报警。
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公开(公告)号：CN100390689C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN02818472.6
申请日：2002-09-20
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G05B19/418 , G06Q10/00 , H01L21/02
CPC classification number: G05B23/0283 , G05B19/41865 , G05B2219/32232 , Y02P90/14 , Y02P90/20
Abstract: 本发明的统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算机上，其功能是与上述用于检测、制造装置的计算机之间对工作条件的各种信息或维修信息进行接收发送并统括管理；监视装置，它连接在该用于管理的计算机上；以及管理部，其功能是利用上述用于管理的计算机，对各用于检测、制造装置的计算机统括更改各检测、制造装置的工作条件；或者，对维修信息进行监视，当检测出异常时发出催促维修的报警。
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公开(公告)号：CN1813185A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200480018507.4
申请日：2004-06-28
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66 , G02F1/13
CPC classification number: G01N21/958 , G01N21/956 , G02F1/1309
Abstract: 把玻璃基板的各原图像数据保存在图像保存部(6)内，把在已由检查条件变更部(9)针对这些原图像数据通过手动或自动对各缺陷检测水平或对比度等检查条件进行了设定变更时的各缺陷部(G1～G6)的检测结果显示在显示器(3)的画面上。
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公开(公告)号：CN1697995A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000456.2
申请日：2004-04-28
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明涉及一种缺陷修正装置及其缺陷修正方法。该缺陷修正装置包括：缺陷检测部(41)，通过与参照图像的比较，检测在基板上产生的缺陷；禁止区域设定部(39)，对位于驱动电路元件(23)上或布线(21、22)上的缺陷设定修正的禁止区域(KA)；修正区域设定部(44)，将除了落在禁止区域(KA)上的部分以外的缺陷部分和与禁止区域(KA)无关的缺陷设定为修正区域；优先级设定部(5)，对修正区域设定修正顺序的优先级；以及修正部(31)，根据优先级修正缺陷。
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