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公开(公告)号：CN104919093A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380067374.9
申请日：2013-12-02
Applicant: 奎斯特综合股份有限公司
Inventor： V·弗拉泰洛
IPC: C30B7/00
CPC classification number: C30B19/12 , C30B19/00 , C30B19/02 , C30B19/04 , C30B29/32 , H01L41/18 , H01L41/317 , H01L41/41
Abstract: 通过液相外延到具有合适的结构与晶格参数匹配的衬底上来实现锆钛酸铅(PZT)和其它钙钛矿的单晶的生长。需要用于稳定生长的溶剂和特定生长条件以实现Zr与Ti的所需比例。
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