公开(公告)号：CN119935012A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510035704.0

申请日：2025-01-09

Applicant: 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

Inventor： 刘志平 ,  李煜 ,  王泉

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提出了一种触针轮廓仪传感器的非线性误差补偿系统及方法，其中该系统包括：激光光源、可调光阑、分光棱镜、聚焦透镜及杠杆，沿光路的传输方向依次设置；由激光光源发出的入射光束经杠杆发生反射，形成反射光束；反射光束依次经聚焦透、分光棱镜后，进入成像透镜；其中，杠杆可沿着Z向偏转；成像透镜、窄带滤光片及位置敏感探测器，沿着光路的传输方向依次设置；位置敏感探测器用于获取杠杆沿着Z向偏转前后，反射光斑的中心在Z向的位置；及控制单元，与位置敏感探测器信号连接。本发明检测反射光斑的在Z向的位置变化，计算杠杆的角度变化，从而实现X方向和Z方向的非线性误差测量和动态补偿。

公开(公告)号：CN118671074A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410988367.2

申请日：2024-07-23

Applicant: 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

Inventor： 刘志平 ,  叶颖 ,  李煜

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明公开了基于双通道分区投影的透明元件双表面偏折测量方法，属于偏折测量技术领域，本发明对双通道测量系统进行联合标定，通过对折射通道中透明元件进行光线追迹定位，基于双通道测量系统标定与工件定位参数，对被测元件名义模型进行追迹实现屏幕分区，并以此为指导设计两套分区序列投影条纹来避免反射信号的混叠。测量时，通过交替投影所设计的非满占空比条纹获得透明元件上下表面未混叠的反射信号，进而通过双目确定待测点与屏幕和相机的对应关系，最后通过梯度积分获取几何面形，解决了透明元件在偏折测量中双表面信号混叠的问题。

公开(公告)号：CN118483237A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410873124.4

申请日：2024-07-01

Applicant: 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

Inventor： 刘志平 ,  马琪聪 ,  李煜

IPC: G01N21/88 ,  G06T7/00 ,  G06T5/77

Abstract: 本发明公开了一种基于光度立体视觉的芯片表面缺陷检测系统和方法；包括图形采集装置与数据处理系统，所述数据处理系统包括：光源模块：用于提供分布均匀照明；数据处理模块：用于接收图像数据，并进行预处理；图像增强模块：用于对预处理后的图像进行增强，提高图像中的关键特征；缺陷检测模块：用于分析增强后的图像并识别出存在的缺陷；显示控制模块：用于显示检测结果；图形采集装置包括：所述光源模块、计算机控制和处理系统；本发明基于光度立体视觉的芯片表面缺陷检测系统和方法，利用粒子群优化Gabor滤波器参数的增强方法提高了芯片图像质量，设计深度学习目标检测算法用于提升缺陷缺陷检测精度，能够实现快速、准确识别芯片表面缺陷的需求。

公开(公告)号：CN118731052A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410960375.6

申请日：2024-07-17

Applicant: 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

Inventor： 刘志平 ,  李煜 ,  胡鹏

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法，光源，光源用于发射两束正交偏振的双频激光；偏振片，偏振片用于控制激光光源的偏振状态，确保光源的偏振方向统一；棱镜组件，棱镜组件包括分光棱镜与角锥棱镜，用与将来自光源的光进行分开或改变光线传播的方向；本发明利用双频激光干涉仪稳定性强、分辨率高、测量精度高等优点，设计了基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统；通过双频激光干涉仪的高精度位移测量反馈和控制位移台的高精度移动，结合高分辨率相机对样品表面进行拍摄，实现对芯片外观的缺陷检测；本发明设计的系统能够对芯片的微小缺陷进行细致的检测，适用于半导体制造过程中的质量控制。