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公开(公告)号：CN106835054B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201710105208.3
申请日：2017-02-25
Applicant: 太原理工大学
Abstract: 本发明公布了一种金刚石单晶表面金属化处理的方法，该方法通过以下步骤实现：使用双辉等离子体渗金属技术，以Fe、Co或Ni作为源极靶材，轰击溅射金刚石单晶表面；然后使用酸溶液浸泡单晶去除残留的金属以及石墨；最后再使用双辉等离子体渗金属技术，以强碳化物金属作为靶材在上述金刚石单晶表面制备金属渗镀涂层。本发明通过利用双辉等离子体的轰击溅射作用和Fe、Co、Ni等铁族金属的石墨化催化作用，在单晶表面形成均匀分布的微坑，使表面粗化、活化，再利用强碳化物金属元素与金刚石表面部分碳原子反应形成化学键结合，提高表面金属化涂层与单晶金刚石的结合强度。轰击刻蚀与金属化处理使用一种装置即可完成，工艺简单、成本低，适合工业化生产。
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公开(公告)号：CN106987827A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710244250.3
申请日：2017-04-14
Applicant: 太原理工大学
IPC: C23C16/511
CPC classification number: C23C16/511
Abstract: 本发明为一种等离子体化学气相沉积微波谐振腔，达到了提高谐振腔聚焦能力和配置灵活性的目的。该谐振腔包括两个顶部相交的等腰三角形布尔并集运算后形成的回转体，其中等腰三角形的底边边长为2nλ~（2n+0.5）λ，底角为50°~75°，两个等腰三角形的底边长相等或相差nλ，上等腰三角形的重心与下等腰三角形的重心间距为0~4/5λ，其中λ为微波波长。本发明利用了电磁波的反射和干涉原理，通过调节上、下等腰三角形的底边长、底边角度以及二者之间的中心距离形成强聚焦电场。同时，该谐振腔能够根据具体的应用选择不同的介质窗口、微波耦合方式以及反应气体进出方式，具有结构简单、方便灵活等特点。
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公开(公告)号：CN106987827B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201710244250.3
申请日：2017-04-14
Applicant: 太原理工大学
IPC: C23C16/511
Abstract: 本发明为一种等离子体化学气相沉积微波谐振腔，达到了提高谐振腔聚焦能力和配置灵活性的目的。该谐振腔包括两个顶部相交的等腰三角形布尔并集运算后形成的回转体，其中等腰三角形的底边边长为2nλ~（2n+0.5）λ，底角为50°~75°，两个等腰三角形的底边长相等或相差nλ，上等腰三角形的重心与下等腰三角形的重心间距为0~4/5λ，其中λ为微波波长。本发明利用了电磁波的反射和干涉原理，通过调节上、下等腰三角形的底边长、底边角度以及二者之间的中心距离形成强聚焦电场。同时，该谐振腔能够根据具体的应用选择不同的介质窗口、微波耦合方式以及反应气体进出方式，具有结构简单、方便灵活等特点。
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公开(公告)号：CN106835054A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710105208.3
申请日：2017-02-25
Applicant: 太原理工大学
Abstract: 本发明公布了一种金刚石单晶表面金属化处理的方法，该方法通过以下步骤实现：使用双辉等离子体渗金属技术，以Fe、Co或Ni作为源极靶材，轰击溅射金刚石单晶表面；然后使用酸溶液浸泡单晶去除残留的金属以及石墨；最后再使用双辉等离子体渗金属技术，以强碳化物金属作为靶材在上述金刚石单晶表面制备金属渗镀涂层。本发明通过利用双辉等离子体的轰击溅射作用和Fe、Co、Ni等铁族金属的石墨化催化作用，在单晶表面形成均匀分布的微坑，使表面粗化、活化，再利用强碳化物金属元素与金刚石表面部分碳原子反应形成化学键结合，提高表面金属化涂层与单晶金刚石的结合强度。轰击刻蚀与金属化处理使用一种装置即可完成，工艺简单、成本低，适合工业化生产。
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