密封构件及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN222513718U

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202420064910.5

    申请日:2024-01-11

    Abstract: 本实用新型涉及一种密封构件及半导体制造装置,密封构件(1)用于半导体制造装置且呈环状,其特征在于,具备从所述密封构件的正面、背面及侧面的至少任一方向目视可见的标记(2)。根据密封构件(1),在将密封构件(1)安装于半导体制造装置时,能够以标记(2)为基准进行安装,例如,能够避开容易施加应力的安装位置(11a)地配置因密封构件(1)的制造方法而产生的强度弱的部分(2)。

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