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公开(公告)号:CN116507651A
公开(公告)日:2023-07-28
申请号:CN202180075922.7
申请日:2021-11-24
Applicant: 大金工业株式会社
IPC: C08F236/20
Abstract: 本发明提供一种含氟聚合物,其含有四氟乙烯单元(1)和来自通式(2):CF2=CF(CF2)nCF=CF2(式中,n表示2~10的整数)所示的全氟二烯的单体单元(2),四氟乙烯单元(1)的含量相对于构成含氟聚合物的全部单体单元为98.0摩尔%~99.999摩尔%以上,单体单元(2)的含量相对于构成含氟聚合物的全部单体单元为0.001摩尔%~2.0摩尔%。
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公开(公告)号:CN222513718U
公开(公告)日:2025-02-21
申请号:CN202420064910.5
申请日:2024-01-11
Applicant: 大金工业株式会社
IPC: F16J15/06
Abstract: 本实用新型涉及一种密封构件及半导体制造装置,密封构件(1)用于半导体制造装置且呈环状,其特征在于,具备从所述密封构件的正面、背面及侧面的至少任一方向目视可见的标记(2)。根据密封构件(1),在将密封构件(1)安装于半导体制造装置时,能够以标记(2)为基准进行安装,例如,能够避开容易施加应力的安装位置(11a)地配置因密封构件(1)的制造方法而产生的强度弱的部分(2)。
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