公开(公告)号：CN1070670A

公开(公告)日：1993-04-07

申请号：CN92109183.4

申请日：1992-07-08

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 大牟礼幸雄 ,  野口真裕 ,  藤原克树 ,  百田博史

IPC: C09K5/04

CPC classification number: C09K5/045 ,  C09K2205/22 ,  C09K2205/32

Abstract: 本发明提供一种似共沸混合物二元组合物，它包含有不低于65摩尔％的1，1，1-三氟乙烷和不高于35摩尔％的五氟乙烷。本发明还提供一种制冷器，其中使用含有不低于65摩尔％的1，1，1-三氟乙烷和不高于35摩尔％的五氟乙烷的似共沸二元组合物作为制冷剂。

公开(公告)号：CN1682355A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN03821750.3

申请日：2003-08-04

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 板野充司 ,  金村崇 ,  百田博史 ,  渡边大祐

IPC: H01L21/308

CPC classification number: H01L21/31111

Abstract: 本发明提供腐蚀液，该腐蚀液适合应用在将表面上形成了介电常数为大于等于8的膜(High－k膜)和硅氧化膜的材料进行腐蚀处理，High－k膜的腐蚀速度为大于等于2/分，热氧化膜(THOX)和High－k膜的腐蚀速度的比为小于等于50。前述腐蚀液优选使用氟化氢(HF)和各种醚系有机溶剂混合后的物质。