公开(公告)号：CN110440951A

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201910838772.5

申请日：2019-09-05

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 韩道满 ,  刘永新 ,  高飞 ,  刘子耕 ,  荆振国 ,  王友年

IPC: G01K11/32

Abstract: 本发明公开了一种等离子气体的温度测量装置，包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、环形器、光谱仪、宽带光源和计算机；所述石英管的一端插入所述真空腔室中；所述光纤温度传感器位于所述真空腔室的等离子气体中，并固定于所述石英管上；所述光纤温度传感器通过一穿过所述石英管的光纤与所述环形器连接；所述环形器通过光纤分别与所述宽带光源和所述光谱仪连接；所述光谱仪与所述计算机电连接；所述计算机用于读取和记录所述光谱仪采集的光谱。本发明提供的等离子气体的温度测量装置，能够利用测得的中性气体温度来表征甚高频大面积容性耦合等离子体中的电磁效应，且具有响应快和检测准确的特点。

公开(公告)号：CN110440951B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201910838772.5

申请日：2019-09-05

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 韩道满 ,  刘永新 ,  高飞 ,  刘子耕 ,  荆振国 ,  王友年

IPC: G01K11/32

Abstract: 本发明公开了一种等离子气体的温度测量装置，包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、环形器、光谱仪、宽带光源和计算机；所述石英管的一端插入所述真空腔室中；所述光纤温度传感器位于所述真空腔室的等离子气体中，并固定于所述石英管上；所述光纤温度传感器通过一穿过所述石英管的光纤与所述环形器连接；所述环形器通过光纤分别与所述宽带光源和所述光谱仪连接；所述光谱仪与所述计算机电连接；所述计算机用于读取和记录所述光谱仪采集的光谱。本发明提供的等离子气体的温度测量装置，能够利用测得的中性气体温度来表征甚高频大面积容性耦合等离子体中的电磁效应，且具有响应快和检测准确的特点。