公开(公告)号：CN108559977B

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201810057645.7

申请日：2018-01-22

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 黄绍松 ,  刘宇 ,  赵纪军 ,  向鑫 ,  叶小球 ,  陈长安

IPC: C23C16/513 ,  C23C16/455 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明提供一种在细长金属管内壁低温涂层的方法及设备，在细长金属管内壁低温涂层的设备包括供气单元和手套箱，手套箱内设置有：气化单元、机械泵、加热单元、喷射管和控制棒，喷射管穿设在细长金属管内，喷射管入口分别与供气单元和气化单元连通，喷射管出口设置在手套箱内，位于细长金属管内部的喷射管侧壁上设置有喷射孔；控制棒平行设置在喷射管上方，且控制棒与喷射管两端通过连接件固定，控制棒一端与机械泵连接，加热单元一端固定在控制棒上，加热端套设在细长金属管外，加热单元与喷射管的喷射孔相对应。本发明能在高纵横比(20‑30:1)的细长金属管内壁低温下(

公开(公告)号：CN108559977A

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201810057645.7

申请日：2018-01-22

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 黄绍松 ,  刘宇 ,  赵纪军 ,  向鑫 ,  叶小球 ,  陈长安

IPC: C23C16/513 ,  C23C16/455 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明提供一种在细长金属管内壁低温涂层的方法及设备，在细长金属管内壁低温涂层的设备包括供气单元和手套箱，手套箱内设置有：气化单元、机械泵、加热单元、喷射管和控制棒，喷射管穿设在细长金属管内，喷射管入口分别与供气单元和气化单元连通，喷射管出口设置在手套箱内，位于细长金属管内部的喷射管侧壁上设置有喷射孔；控制棒平行设置在喷射管上方，且控制棒与喷射管两端通过连接件固定，控制棒一端与机械泵连接，加热单元一端固定在控制棒上，加热端套设在细长金属管外，加热单元与喷射管的喷射孔相对应。本发明能在高纵横比(20-30:1)的细长金属管内壁低温下(