公开(公告)号：CN101059381A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200710011275.5

申请日：2007-05-10

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 崔岩 ,  董维杰 ,  王兢 ,  陈会林 ,  王立鼎

IPC: G01L1/18

Abstract: 本发明一种压电薄膜悬臂梁式微力传感器的微力加载装置属于传感器与测试技术领域，适用于压电薄膜悬臂梁式微力传感器的静态和准静态测试和标定。微力加载装置由一维微位移台、二维微位移台、压电双晶片微力发生器及减震装置组成。一维微位移台由X轴分厘卡组件、一维微位移台底座组成。二维微位移台由Y轴分厘卡组件、Z轴分厘卡组件、二维微位移台底座、支板和内六角螺钉组成。压电双晶片微力发生器III由微探针、固定块、两片压电陶瓷片、铝制金属片、夹片、内六角螺钉组成。结构简单可靠，而且操作方便。提高了微小力加载系统的分辨率，解决了微牛顿量级力加载的不稳定性和控制难的问题。

公开(公告)号：CN100507483C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200710011275.5

申请日：2007-05-10

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 崔岩 ,  董维杰 ,  王兢 ,  陈会林 ,  王立鼎

IPC: G01L1/18

Abstract: 本发明一种压电薄膜悬臂梁式微力传感器的微力加载装置属于传感器与测试技术领域，适用于压电薄膜悬臂梁式微力传感器的静态和准静态测试和标定。微力加载装置由一维微位移台、二维微位移台、压电双晶片微力发生器及减震装置组成。一维微位移台由X轴分厘卡组件、一维微位移台底座组成。二维微位移台由Y轴分厘卡组件、Z轴分厘卡组件、二维微位移台底座、支板和内六角螺钉组成。压电双晶片微力发生器III由微探针、固定块、两片压电陶瓷片、铝制金属片、夹片、内六角螺钉组成。结构简单可靠，而且操作方便。提高了微小力加载系统的分辨率，解决了微牛顿量级力加载的不稳定性和控制难的问题。