一种液体自流成膜装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104387603A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201410508695.4

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种液体自流成膜装置,具体涉及一种可调节形成膜厚度的自流成膜装置,属于膜加工设备领域。一种液体自流成膜装置,所述装置包括:成膜室;至少一组位于成膜室内的成膜板组,所述成膜板组由两个成膜直面相对的成膜板组成,按成膜直面平行于重力方向设置所述成膜板;控制装置,用于控制成膜板组中两个成模板在垂直于重力方向的方向上相向或相背移动。本发明所述提供的成膜装置为利用重力产生自流的成膜装置,在成膜过程中可以延长膜的长度并控制成膜的厚度。该装置具有设备简单、操作简便和安全可靠等优点,方便使用。

    非线性压电微能源采集器的微力加载测试方法

    公开(公告)号:CN102519646A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110422133.4

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明非线性压电微能源采集器的微力加载测试方法属于测试技术领域,特别涉及非线性压电微能源采集器的微力加载和测试。非接触微力加载测试方法分三种方式,分别为当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器竖直Z向布置时,压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试;当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器水平X向布置时,压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试;压电微能梁采集器的等效刚度测试。该测试方法解决了非线性压电微能源采集器的毫牛顿级微力加载测试问题,加载的微力在微牛顿级,精度高、微力加载稳定性能好,操作简便,容易精确控制微力加载的幅度,不易损坏样片。

    一种液体自流成膜装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104387603B

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201410508695.4

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种液体自流成膜装置,具体涉及一种可调节形成膜厚度的自流成膜装置,属于膜加工设备领域。一种液体自流成膜装置,所述装置包括:成膜室;至少一组位于成膜室内的成膜板组,所述成膜板组由两个成膜直面相对的成膜板组成,按成膜直面平行于重力方向设置所述成膜板;控制装置,用于控制成膜板组中两个成模板在垂直于重力方向的方向上相向或相背移动。本发明所述提供的成膜装置为利用重力产生自流的成膜装置,在成膜过程中可以延长膜的长度并控制成膜的厚度。该装置具有设备简单、操作简便和安全可靠等优点,方便使用。

    非线性压电微能源采集器的微力加载测试方法

    公开(公告)号:CN102519646B

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201110422133.4

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明非线性压电微能源采集器的微力加载测试方法属于测试技术领域,特别涉及非线性压电微能源采集器的微力加载和测试。非接触微力加载测试方法分三种方式,分别为当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器竖直Z向布置时,压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试;当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器水平X向布置时,压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试;压电微能梁采集器的等效刚度测试。该测试方法解决了非线性压电微能源采集器的毫牛顿级微力加载测试问题,加载的微力在微牛顿级,精度高、微力加载稳定性能好,操作简便,容易精确控制微力加载的幅度,不易损坏样片。

    一种基于(110)单晶硅的微悬臂梁探针制作方法

    公开(公告)号:CN102279289A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201110055371.6

    申请日:2011-03-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于(110)单晶硅的微悬臂梁探针制作方法,属于MEMS和测试技术领域。其特征在于采用基于(110)单晶硅,实现氮化硅微悬臂梁针尖制作的工艺。制作过程中,采用了(110)单晶硅的各向异性腐蚀自停止方法。本发明的有益效果是采用微机电(MEMS)加工工艺即可完成全部工艺流程,并且克服了普通单晶硅各向异性腐蚀溶液对(110)单晶硅表面粗糙度的影响,对工艺设备要求较低,可以批量生产,降低了产品成本。该方法制成的氮化硅纳米探针针尖具有形状极其规范,硬度高和耐磨性好等优点。该方法制作的微悬臂梁探针可用于原子力显微镜(AFM)探针、高密度存储装置探头以及微纳米加工装置。

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