公开(公告)号：CN107227458A

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201710316397.9

申请日：2017-05-08

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 崔岩 ,  虞梦琳 ,  曲天良 ,  刘兵 ,  孔祥新 ,  谷旺

IPC: C23C28/00 ,  G01C19/5691

CPC classification number: C23C28/322 ,  C23C28/345 ,  G01C19/5691

Abstract: 本发明提供了一种基于杯形波动陀螺的压电电极及其制备方法，属于执行器、传感器设计制造技术领域。所述的压电电极，为三层结构，从下到上依次为公共底电极、PZT层和顶电极；公共底电极主体为八个矩形电极块，通过圆环结构将八个矩形电极块连为一体结构；PZT层的结构与公共底电极的结构相同，在PZT层的圆环结构上设有八个引线孔，每两矩形电极块之间设有一引线孔；顶电极为八个矩形电极块，其溅射于PZT层的对应矩形电极块处，矩形电极块的端部设有顶电极引线位置。本发明的压电电极提高了输入增益和压电驱动、压电检测的振动能量传递的效率，优化了陀螺仪压电电极制作方法。