公开(公告)号：CN118456284A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410770728.6

申请日：2024-06-14

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 郭江 ,  杨哲 ,  蔡卓霖 ,  王连林

IPC: B24B49/00 ,  B24B37/005 ,  B24B37/08

Abstract: 本发明公开了一种双面研磨工艺中工件自转速度的测量方法，包括以下步骤：设计专用牺牲环和游星轮；安装工件；安装振动传感器；采集振动数据；计算工件平均转速。本发明通过测量振动数据进而计算工件平均转速，与传统的工件转速测量方法相比，本发明对工件的材质和尺寸没有特别要求，适用性广；本发明采用在工件外圈加装牺牲环的方法，与现有的采用接触式磁感应侦测器测量晶圆转速的方法相比，在不干涉正常加工的同时可一定程度抑制工件表面的塌边现象；本发明利用配套的上位机实时记录振动传感器检测的振动数据，从而能够对采集的振动数据进行分析计算，操作简单，可行性好，同时测量精度较高。

公开(公告)号：CN220446479U

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202320395937.8

申请日：2023-03-06

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 蔡卓霖

IPC: B25J15/00

Abstract: 本实用新型公开了管材送出料机械手装置，属于管材生产加工技术领域，管材送出料机械手装置，包括壳体，壳体的内部设置有气缸，壳体的两侧均滑动连接有导向柱，气缸的输出端与导向柱相连接，导向柱远离壳体一端的底部设置有夹板，夹板靠近壳体的一侧转动连接有若干接触盘，其中一个夹板的侧面固定安装有驱动其中一个接触盘旋转的马达，它可以实现通过马达带动接触盘旋转即可带动管材沿着自身所在轴线方向进行移动，改变对管材的夹持位置以便调节重心使管材平衡，降低了机械手对管材的夹持功率，且夹持更加稳定，管材不容易因失衡而掉落，提高了使用时的安全性，能够适用于截面为圆形或方形管材的夹持。