公开(公告)号：CN107488837B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201710850169.X

申请日：2017-09-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 郭飞 ,  从硕 ,  董建华 ,  蔡景成

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  D06M14/10

Abstract: 本发明公开材料微观表面共型镀膜系统，涉及属于表面共型镀膜技术领域。该系统包括：化学气相沉积反应腔室，与反应腔室侧面相连通的进气供给系统，位于反应腔室侧面的真空控制系统，位于反应腔室上部的电热合金丝加热系统，位于反应腔室下部的循环水冷却系统，位于反应腔室上部的石英观察窗。本发明的效果和益处是所形成的镀膜膜层为纳米尺度，且与原材料共型，致密均匀，厚度可控；该装置控制水浴加热温度、进气管道外缠绕电阻丝加热和采用气体流量计的方式调节进气速率，省去了质量流量控制器，降低了设备成本，简化了该装置的配置，大大降低了反应单体在进气管道中冷凝的可能性。

公开(公告)号：CN107488837A

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201710850169.X

申请日：2017-09-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 郭飞 ,  从硕 ,  董建华 ,  蔡景成

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  D06M14/10

CPC classification number: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/4581 ,  C23C16/52 ,  D06M14/10 ,  D06M2200/12

Abstract: 本发明公开材料微观表面共型镀膜系统，涉及属于表面共型镀膜技术领域。该系统包括：化学气相沉积反应腔室，与反应腔室侧面相连通的进气供给系统，位于反应腔室侧面的真空控制系统，位于反应腔室上部的电热合金丝加热系统，位于反应腔室下部的循环水冷却系统，位于反应腔室上部的石英观察窗。本发明的效果和益处是所形成的镀膜膜层为纳米尺度，且与原材料共型，致密均匀，厚度可控；该装置控制水浴加热温度、进气管道外缠绕电阻丝加热和采用气体流量计的方式调节进气速率，省去了质量流量控制器，降低了设备成本，简化了该装置的配置，大大降低了反应单体在进气管道中冷凝的可能性。

公开(公告)号：CN207331056U

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201721208274.5

申请日：2017-09-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 郭飞 ,  从硕 ,  董建华 ,  蔡景成

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  D06M14/10

Abstract: 本实用新型公开材料微观表面共型镀膜系统，涉及属于表面共型镀膜技术领域。该系统包括：化学气相沉积反应腔室，与反应腔室侧面相连通的进气供给系统，位于反应腔室侧面的真空控制系统，位于反应腔室上部的电热合金丝加热系统，位于反应腔室下部的循环水冷却系统，位于反应腔室上部的石英观察窗。本实用新型的效果和益处是所形成的镀膜膜层为纳米尺度，且与原材料共型，致密均匀，厚度可控；该装置控制水浴加热温度、进气管道外缠绕电阻丝加热和采用气体流量计的方式调节进气速率，省去了质量流量控制器，降低了设备成本，简化了该装置的配置，大大降低了反应单体在进气管道中冷凝的可能性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利