真空灭弧室真空度在线监测装置

    公开(公告)号:CN104409275B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201410661479.3

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 本发明公开一种基于耦合电容法、具有温度及电压补偿、准确度高的真空灭弧室真空度在线监测装置,有置于屏蔽盒(1)中的耦合电容传感器,所述屏蔽盒(1)内还设有温度传感器,所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接,单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块,单片机的输出与显示器相接;设有电压传感器,所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分放大模块相接;所述温度传感器与单片机相接。

    真空灭弧室真空度在线监测装置

    公开(公告)号:CN104409275A

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201410661479.3

    申请日:2014-11-19

    CPC classification number: H01H33/668

    Abstract: 本发明公开一种基于耦合电容法、具有温度及电压补偿、准确度高的真空灭弧室真空度在线监测装置,有置于屏蔽盒(1)中的耦合电容传感器,所述屏蔽盒(1)内还设有温度传感器,所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接,单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块,单片机的输出与显示器相接;设有电压传感器,所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分放大模块相接;所述温度传感器与单片机相接。

    真空灭弧室真空度在线监测装置

    公开(公告)号:CN204360999U

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201420695172.0

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 本实用新型公开一种基于耦合电容法、具有温度及电压补偿、准确度高的真空灭弧室真空度在线监测装置,有置于屏蔽盒(1)中的耦合电容传感器,所述屏蔽盒(1)内还设有温度传感器,所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接,单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块,单片机的输出与显示器相接;设有电压传感器,所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分放大模块相接;所述温度传感器与单片机相接。

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