公开(公告)号：CN102095759A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010560297.9

申请日：2010-11-18

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 李晓干 ,  孙芳洁 ,  余隽 ,  唐祯安 ,  王兢 ,  闫卫平 ,  朱慧超 ,  李春燕

IPC: G01N27/04 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明属于电子气敏器件技术领域，涉及到一种基于Y型沸石薄膜材料的神经元有害气体传感器，特别涉及到该气体传感器的沸石敏感薄膜的制备方法。其特征是在传感器中，先将Y型沸石薄膜沉积到SiO2或者Al2O3基板上，然后再将金叉指电极打印到沸石薄膜顶面；传感器的工作温度在250到350摄氏度范围内；传感器信号是在1-1MHz之间扫描的阻抗谱图在流动空气和以空气为背景的神经元有害气体的氛围下的变化；传感器的实时监测信号是在固定频率下，传感器阻抗值的变化。本发明的效果和益处是，相对于报道的块体材料传感器，利用沸石薄膜材料制备的传感器表现出更好的，更灵敏的对神经元有害气体的模拟试剂甲基磷酸二甲酯的感应性能。

公开(公告)号：CN102062750A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201010567118.4

申请日：2010-11-22

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 李晓干 ,  吴健 ,  李春燕 ,  余隽 ,  唐祯安 ,  王兢 ,  闫卫平 ,  黄正兴 ,  孙芳洁

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种基于二氧化钛纳米管阵列的室温甲醛气体传感器，属于电子气敏器件技术领域。其特征是二氧化钛纳米管阵列为敏感元素，在二氧化钛纳米管阵列上制作两条平行并列的金属电极；传感器的工作温度在15-30℃范围内，工作环境的相对湿度范围为30-90％；传感器信号是测定二氧化钛纳米管阵列的电阻值在空气和以空气为背景的甲醛气体氛围下的变化。本发明的效果和益处是，利用具有高比表面积的二氧化钛纳米管阵列，实现了在室温下及在其他两种干扰气体中检测微量甲醛含量，大大降低了传感器使用过程中的功耗，提高了传感器使用的便携性。