公开(公告)号：CN105466891B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201510818101.4

申请日：2015-11-23

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 李丽霞 ,  彭伟 ,  卢梦迪 ,  谢灵骁

IPC: G01N21/59

Abstract: 本发明提供了一种双调制模式自精确光纤表面等离子体共振生化检测传感器，属于光纤传感技术领域。该传感器采用终端反射式传感结构，将纤芯直径为400‑600m，数值孔径不低于0.24的塑料包层多模光纤的纤芯端面抛光，并将抛光的光纤纤芯端面溅射200nm以上银膜，形成反射镜面；将多模光纤上的两段涂覆层和包层剥去形成两个长度为5mm‑10mm的传感通道；一个传感通道表面固定纳米金球，另一个传感通道表面按照银‑ITO的顺序溅射银‑ITO双层膜，其中银层厚度为35‑45nm，ITO层为5‑15nm。采用较为简单的溅射镀膜工艺与层层自主装方法实现双调制信号的解调，避免采用单一调制模式产生的精确度影响。

公开(公告)号：CN105466891A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510818101.4

申请日：2015-11-23

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 李丽霞 ,  彭伟 ,  卢梦迪 ,  谢灵骁

IPC: G01N21/59

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01N2021/5903

Abstract: 本发明提供了一种双调制模式自精确光纤表面等离子体共振生化检测传感器，属于光纤传感技术领域。该传感器采用终端反射式传感结构，将纤芯直径为400-600m，数值孔径不低于0.24的塑料包层多模光纤的纤芯端面抛光，并将抛光的光纤纤芯端面溅射200nm以上银膜，形成反射镜面；将多模光纤上的两段涂覆层和包层剥去形成两个长度为5mm-10mm的传感通道；一个传感通道表面固定纳米金球，另一个传感通道表面按照银-ITO的顺序溅射银-ITO双层膜，其中银层厚度为35-45nm，ITO层为5-15nm。采用较为简单的溅射镀膜工艺与层层自主装方法实现双调制信号的解调，避免采用单一调制模式产生的精确度影响。

公开(公告)号：CN105510281A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510822045.1

申请日：2015-11-23

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 彭伟 ,  卢梦迪 ,  李丽霞 ,  梁瑜章

IPC: G01N21/552

CPC classification number: G01N21/553

Abstract: 本发明提供了一种内银外金毛细管多模式检测表面等离子体共振传感器，属于光纤传感技术领域。该传感器采用石英毛细管，在毛细管内壁镀银、外壁镀金的结构；采用液相化学沉积法，对敏化处理后的石英毛细管内壁沉积60nm-90nm的均匀银膜；内壁镀银膜的石英毛细管外壁中间段采用溅射镀膜法镀制金膜，镀膜长度7mm-15mm，镀膜厚度60nm-90nm；其中，金膜和银膜的厚度保持一致。本传感器结构小巧简单、性能稳定、工艺简单、制作方便且成本较低，并对传感检测具有较高的灵敏度。毛细管内部可用于检测油类等高折射率液体样品，外部用于检测低折射率生化样品等。传感器实用性强，可广泛应用于工业与生化传感领域。