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公开(公告)号：CN109930124A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910291577.5
申请日：2019-04-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种应用于探头表面高温导电耐蚀Ti-Nb-Ta合金薄膜材料及其制备方法，属于金属材料表面改性和新材料技术领域。该合金薄膜材料包括Ti、Nb、Ta三种元素，其合金成分的原子百分比表达为Tix-Nby-Ta1-x-y，其中，x＝97～98.4％，y＝0.8～1.5％；该材料成分设计依据团簇+链接原子的结构模型，结合键逾渗模型来完成。该Ti、Nb、Ta三元合金薄膜材料利用高真空多靶磁控溅射技术在基底表面制备。本发明制备方法简单、沉积速度快、生产效率高、成本低，制备得到的薄膜材料在高温下具有良好的耐腐蚀、耐氧化和导电性能，适用于加工技术领域。
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公开(公告)号：CN109930124B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201910291577.5
申请日：2019-04-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种应用于探头表面高温导电耐蚀Ti‑Nb‑Ta合金薄膜材料及其制备方法，属于金属材料表面改性和新材料技术领域。该合金薄膜材料包括Ti、Nb、Ta三种元素，其合金成分的原子百分比表达为Tix‑Nby‑Ta1‑x‑y，其中，x＝97～98.4％，y＝0.8～1.5％；该材料成分设计依据团簇+链接原子的结构模型，结合键逾渗模型来完成。该Ti、Nb、Ta三元合金薄膜材料利用高真空多靶磁控溅射技术在基底表面制备。本发明制备方法简单、沉积速度快、生产效率高、成本低，制备得到的薄膜材料在高温下具有良好的耐腐蚀、耐氧化和导电性能，适用于加工技术领域。
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公开(公告)号：CN109943820A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910291625.0
申请日：2019-04-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种应用于探头表面高温导电耐蚀Ti-Ta合金薄膜材料及其制备方法，属于金属材料表面改性和新材料技术领域。该合金薄膜材料包括Ti、Ta两种元素，其合金成分的原子百分比表达为Tix-Ta1-x，其中，x＝97～98.4％；该材料成分设计依据团簇+链接原子的结构模型，结合键逾渗模型来完成。该Ti、Ta二元合金薄膜材料利用高真空多靶磁控溅射技术在基底表面制备。本发明制备方法简单、沉积速度快、生产效率高、成本低，制备得到的薄膜材料在高温下具有良好的耐腐蚀、耐氧化和导电性能，适用于加工技术领域。
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