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公开(公告)号:CN116075205A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202310052335.7
申请日:2023-02-02
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明涉及微质量传感器技术领域,特别是涉及一种基于压电转导策略的单层二硫化钼微质量生物传感器及其制备方法,用于对微小质量进行高精度测量。其组成包括硅衬底、二氧化硅薄膜、电触头、单层MoS2薄膜、信号发生器、电压表和电流表;二氧化硅薄膜位于硅衬底上表面,二氧化硅薄膜的中心设有圆孔作为谐振腔,单层MoS2薄膜覆盖在圆孔上;两个电触头与单层MoS2薄膜两端接触,作为源极与漏极;两个电触头通过导线相连,且二者之间设有电压表和电流表;信号发生器一端接地,另一端接硅衬底作为驱动电极。