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公开(公告)号:CN117226701A
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202311450949.7
申请日:2023-11-02
Applicant: 东方电气集团东方汽轮机有限公司 , 大连理工大学
IPC: B24B31/027 , B24B31/12 , B24B41/06 , B24B49/12 , B24B49/04 , B24B51/00 , B24B47/12 , B24B47/22 , B24B1/04
Abstract: 本发明涉及一种超声振动辅助叶片自适应化学机械抛光智能装备及加工方法。装置包括床身、总控系统和设置在床身内的主轴、超声振动装置、研磨桶、抛光液供给装置、抛光磨粒供给装置和叶片扫描装置,主轴的末端通过夹具与待抛光叶片相连,研磨桶底端通过超声振动装置与床身的底部相连,抛光液供给装置和抛光磨粒供给装置能够将抛光液和磨粒输送到研磨桶中,叶片扫描装置用于对叶片进行扫描,抛光过程中,待抛光叶片在主轴的控制下进入研磨桶中,并基于叶片扫描装置的数据,总控系统控制主轴、超声振动装置、抛光液供给装置、抛光磨粒供给装置和叶片扫描装置的工作状态,进而调节叶片的上下往复运动、多角度悬停、自转和绕主轴公转的运动轨迹。
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公开(公告)号:CN116214281A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310130911.5
申请日:2023-02-17
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法,包括机架和安装在机架内的加工舱,收集舱,过滤舱,物料舱,水箱,喷嘴系统,光源,超声发生器,真空泵,高压泵,控制系统和外壳钣金。其将化学机械抛光方法应用于相交内孔抛光,实现了深交叉孔内毛刺的精确去除和内壁精密抛光。并通过喷嘴系统内引入光源,以光催化辅助提高化学机械抛光中的化学反应速率,降低反应势垒,提高反应活性,进而提高抛光效率。同时通过控制高压泵压力和扰流器,可以精确控制喷嘴系统内的流场行为,避免了在深交叉孔去毛刺抛光时出现“过抛”、“倒棱”、“欠抛”等过度损伤缺陷,以实现深交叉孔内毛刺精确去除和内壁精密抛光。
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