公开(公告)号：CN101475137A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200910010073.8

申请日：2009-01-10

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 余隽 ,  唐祯安 ,  冯冲 ,  吕安新

IPC: B81C5/00 ,  B81B7/02 ,  G01N25/00

Abstract: 本发明公开了一种双层悬空梁微结构薄膜量热计，属于微型传感器技术领域。其特征是该双层悬空梁微结构薄膜量热计，包括硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁，其特征在于：第一层薄膜悬梁两端固支，悬架在硅衬底上，平行于硅衬底表面；第二层薄膜悬梁两端固支，平行于硅衬底表面，悬架在第一层薄膜悬梁上，不与第一层薄膜悬梁相接触，与第一层薄膜悬梁垂直。硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁三者之间均有间隙。本发明的有益效果是该双层悬空梁微结构的薄膜量热计具有样品薄膜自对准淀积功能，提高了样品定位淀积准确性，减小了薄膜量热计的使用难度，适用于微纳米薄膜热力学参数的测试。

公开(公告)号：CN201368782Y

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200920010138.4

申请日：2009-01-10

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 余隽 ,  唐祯安 ,  冯冲 ,  吕安新

IPC: G01K17/00

Abstract: 本实用新型公开了一种双层悬空梁微结构薄膜量热计，属于微型传感器技术领域。其特征是该双层悬空梁微结构薄膜量热计，包括硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁，其特征在于：第一层薄膜悬梁两端固支，悬架在硅衬底上，平行于硅衬底表面；第二层薄膜悬梁两端固支，平行于硅衬底表面，悬架在第一层薄膜悬梁上，不与第一层薄膜悬梁相接触，与第一层薄膜悬梁垂直。硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁三者之间均有间隙。本实用新型的有益效果是该双层悬空梁微结构的薄膜量热计具有样品薄膜自对准淀积功能，提高了样品定位淀积准确性，减小了薄膜量热计的使用难度，适用于微纳米薄膜热力学参数的测试。